电力行业,高压电力设备监测,包括高压开关、断路器、GIS(气体绝缘开关设备)、SF₆变压器等设备内部气体浓度的实时监测,预防泄漏导致的设备故障或安全隐患。对变电站、配电室、开关室等场所进行环境监测,确保作业人员安全,避免因气体泄漏引发缺氧风险。
化工及工业生产场所,在六氟化硫作为原料或惰性保护气体的化工流程中(如半导体蚀刻、金属加工),需检测工作环境中的气体浓度以保障生产安全。

在特殊工业场景,包括采油、冶炼、隧道施工、污水处理等领域,监测可能因设备泄漏或工艺产生的SF₆气体。
环保与安全管理,环保排放监测,针对SF₆作为温室气体的特性,环保部门需对电力设备、化工厂等排放源进行监测,减少温室效应影响。在仓储与储罐区存储SF₆气体或相关产品的仓库、储罐区需安装检测装置,防范泄漏事故。
一些实验室环境,涉及SF₆气体研究的实验室需监测浓度,确保实验安全。在特殊行业应用,包括航空航天、军用设备、制药等领域中SF₆相关设备的泄漏检测。